直線電機技術已廣泛應用于半導體行業(yè)所需要的最先進的運動系統(tǒng)中。如果精度水平需要達到亞微米水平，位置穩(wěn)定性需要納米水平，必須采用最先進的技術。對于這樣的要求，任何部件的缺陷都會影響整機的性能。正因為如此，它為用戶提供了一個完整的運動系統(tǒng)平臺，擁有最高質(zhì)量的部件和最好的機械結構設計技術。在晶圓測試工具中，要求極高的精度和生產(chǎn)率。

　　為了滿足高標準的應用要求，LSM直線電機及其獨特的功能滿足了這個高科技行業(yè)的要求。最終，這些重要的部件組成了一個機械系統(tǒng)，實現(xiàn)了最高的性能。

　　貼片機

　　大多數(shù)微電子器件都要求進行無損檢測（NDT）。該測試用于確保產(chǎn)品的功能和可靠性。由于在線檢測，速度必須快，精度必須高，以確保生產(chǎn)線的生產(chǎn)能力不受質(zhì)量控制程序的影響。

　　根據(jù)被測產(chǎn)品的類型，從無源器件到復雜的IC,都需要不同的檢測技術，如光學檢測、x射線檢測或超聲波檢測。由直線電機技術組成的完整運動系統(tǒng)，為用戶帶來高精度和最大生產(chǎn)率。

　　在測試設備中，為了達到最大的性能，通常兩個重要的系統(tǒng)必須保持同步，移動平臺和測試系統(tǒng)本身。由于HANS能夠提供一個完整的運動平臺系統(tǒng)和運動控制單元，保證了檢測設備的關鍵運動技術要求。這使得設備制造商能夠專注于他們在檢測系統(tǒng)、缺陷識別軟件等方面的核心競爭力，同時要求晶圓運動系統(tǒng)的精度、重復性和生產(chǎn)力。